簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "趙崇禮".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="化學機械拋光"


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    光觸媒催化輔助於單晶4H-碳化矽晶圓研光複合盤製造之研究
    • 機械工程系 /108/ 碩士
    • 研究生: 林寬 指導教授: 陳炤彰
    • 電動汽車、再生能源及快速充電等高功率元件的應用矽功率元件已無法滿足市場需求,因此單晶碳化矽 (SiC) 相較於單晶矽具有高寬能隙、高崩潰電壓及高熱傳導率等特性較適合用於高功率元件,然而單晶碳化矽具有…
    • 點閱:249下載:5

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    四旋轉軸單晶矽晶球拋光加工機設計與研拋製程參數分析研究
    • 機械工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 林堉鋐 指導教授: 陳炤彰
    • 澳洲聯邦科學暨工業研究院與德國聯邦物理技術研究院使用 Cup-type球拋機搭配氧化鋁磨料研光和粗拋與酸性的二氧化鈦拋光液精拋製出單晶矽晶球,並在2019 成為最新的國際質量原器。本研究自行設計四旋…
    • 點閱:166下載:0
    • 全文公開日期 2025/02/15 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/02/15 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/02/15 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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